中国科学家开发出晶硅倒金字塔制绒新工艺

中国科学院物理研究所清洁能源实验室研究员杜小龙研究组经过5年多的攻关研究，近日终于利用纳米金属颗粒催化化学刻蚀晶硅倒金字塔制绒上取得了重大进展，为晶硅倒金字塔制绒从基础研究迈向重大产业化应用打下了坚实基础。

研究人员巧妙地利用单晶硅表面上铜纳米颗粒的各向异性沉积特性，在酸溶液中实现了铜催化各向异性刻蚀，获得了大面积均匀的致密的倒金字塔绒面。所制备的工业用单晶硅倒金字塔制绒片具有大面积均匀、倒金字塔尺寸可调等特点，其反射率为5%左右，其优越的陷光性能得到了验证。