PET聚酯薄膜：薄膜原料及特性

薄膜原料及特性

名称：钇（Y）

    三氧化二钇，（Y2O3）使用电子枪蒸镀，该材料性能随膜厚而变化，在500nm时折射率约为1.8。用作铝保护膜其极受欢迎，特别相对于800-12000nm区域高入射角而言，可用作眼镜保护膜，且24小时暴露于湿气中。一般为颗粒状和片状。

透光范围(nm)            折射率(N)         500nm蒸发温度（℃）            蒸发源                    应用
250-8000                      1.79                      2300-2500                           电子枪        防反膜、铝保护膜

名称：二氧化铈（CeO2）

    使用高密度的钨舟皿(较早使用)蒸发，在200℃的基板上蒸着二氧化铈，得到一个约为2.2的折射率，在大约3000nm有一吸收带其折射率随基板温度的变化而发生显著变化，在300℃基板500nm区域折射率为2.45，在波长短过400nm时有吸收，传统方法蒸发缺乏紧密性，用氧离子助镀可取得n=2.35(500nm)的低吸收性薄膜，一般为颗粒状，还可用一增透膜和滤光片等。

透光范围(nm)         折射率(N)               500nm蒸发温度（℃）              蒸发源           应用           杂气排放量
400-16000                2.35                           约2000                                    电子枪            防反膜              多

名称：氧化镁(MgO)

    必须使用电子枪蒸发因该材料升华，坚硬耐久且有良好的紫外线(UV)穿透性，250nm时n=1.86，190nm时n=2.06，166nm时K值为0.1，n=2.65，可用作紫外线薄膜材料，MGO/MGF2膜堆从200nm-400nm区域透过性良好，但膜层被限制在60层以内(由于膜应力)500nm时环境基板上得到n=1.70。由于大气CO2的干扰，MGO暴露表面形成一模糊的浅蓝的散射表层，可成功使用传统的MHL折射率3层AR膜。